箱式气氛炉
箱式气氛炉是一款先进的热处理设备,通过独特的预抽真空技术,能够有效降低炉膛内的氧含量,确保在最佳气氛保护下进行热处理,适用于半导体、氮化硅等产品的制造。
产品详情
箱式气氛炉简介:
箱式气氛炉是一款功能强大的热处理设备,通过预抽真空技术,确保炉膛内氧含量降至最低,然后通入氮气、氩气等惰性气体,以在最佳气氛保护下获得理想的热处理状态。
因其出色的气氛环境控制能力和紧凑实用性,箱式气氛炉已广泛应用于材料实验室以及半导体、氮化硅等产品的批量生产中。其卓越的性能使得用户能够获得精确可靠的热处理效果,满足各种科研和生产需求。
无论是在材料研究、产品开发还是小批量生产中,箱式气氛炉都以其高效、稳定和可靠的性能成为理想的选择。
箱式气氛炉特点:
温度范围:室温至1700℃。
炉膛材料:炉膛采用氧化铝多晶纤维。
高真空性能:全密闭结构炉膛,壳体采用双层加厚钢板,极限真空可达-0.1Mpa,最大抽真空度可到-0.08MPa。
结构:顶部、左侧、右侧和背部均采用12mm的实心方钢作为加强筋。
控温系统:采用工业精度0.2级智能仪表,PID调节,50段编程。
密封性能:炉门密封性能优异,采用四个手轮紧锁炉门,硅胶圈密封,确保炉内气体不泄漏。
标准配件:
炉门档火砖(1200型除外)
高温手套
坩埚钳
说明书
热元件两支(1200型除外)
旋片真空泵
可选配件:
直连式真空泵
触摸屏/电脑连接软件
炉膛坩埚(多层窑具)
加热元件(硅钼棒,硅碳棒)
气路系统(浮子/质子流量计,2路/3路气体)
技术参数:
标准规格:1200型
设备型号 | 最高温度 | 工作温度 | 炉膛尺寸 | 电压 | 功率 |
---|---|---|---|---|---|
BR-12AN-1 | 1200 | 1100 | 100*100*100 | 220V | 0.8 |
BR-12AN-2 | 1200 | 1100 | 120*120*130 | 220V | 1.2 |
BR-12AN-3 | 1200 | 1100 | 150*150*150 | 220V | 2.5 |
BR-12AN-5 | 1200 | 1100 | 150*150*200 | 220V | 3 |
BR-12AN-8 | 1200 | 1100 | 200*200*200 | 220V | 5 |
BR-12AN-12 | 1200 | 1100 | 200*200*300 | 220V | 6 |
BR-12AN-27 | 1200 | 1100 | 300*300*300 | 380V | 8 |
BR-12AN-36 | 1200 | 1100 | 300*300*400 | 380V | 10 |
BR-12AN-64 | 1200 | 1100 | 400*400*400 | 380V | 16 |
标准规格:1400型
设备型号 | 最高温度 | 工作温度 | 炉膛尺寸 | 电压 | 功率 |
---|---|---|---|---|---|
BR-14AS-1 | 1400 | 1300 | 100*100*100 | 220V | 1 |
BR-14AS-2 | 1400 | 1300 | 120*120*130 | 220V | 2 |
BR-14AS-3 | 1400 | 1300 | 150*150*150 | 220V | 3 |
BR-14AS-5 | 1400 | 1300 | 150*150*200 | 220V | 4 |
BR-14AS-8 | 1400 | 1300 | 200*200*200 | 220V | 5 |
BR-14AS-12 | 1400 | 1300 | 200*200*300 | 220V | 7 |
BR-14AS-27 | 1400 | 1300 | 300*300*300 | 380V | 9 |
BR-14AS-36 | 1400 | 1300 | 300*300*400 | 380V | 11 |
BR-14AS-64 | 1400 | 1300 | 400*400*400 | 380V | 18 |
标准规格:1700型
设备型号 | 最高温度 | 工作温度 | 炉膛尺寸 | 电压 | 功率 |
---|---|---|---|---|---|
BR-17AM-1 | 1700 | 1600 | 100*100*100 | 220V | 1 |
BR-17AM-2 | 1700 | 1600 | 120*120*130 | 220V | 3 |
BR-17AM-3 | 1700 | 1600 | 150*150*150 | 220V | 4 |
BR-17AM-5 | 1700 | 1600 | 150*150*200 | 220V | 5 |
BR-17AM-8 | 1700 | 1600 | 200*200*200 | 220V | 7 |
BR-17AM-12 | 1700 | 1600 | 200*200*300 | 220V | 8 |
BR-17AM-27 | 1700 | 1600 | 300*300*300 | 380V | 10 |
BR-17AM-36 | 1700 | 1600 | 300*300*400 | 380V | 12 |
BR-17AM-64 | 1700 | 1600 | 400*400*400 | 380V | 20 |
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